XPS

XPS (englisch: x-ray photoelectron spectroscopy, ) ist eine Methode, um die chemische Zusammensetzung von Festkörpern bzw. deren Oberfläche zu bestimmen. Man erhält dabei zunächst eine Antwort auf die Frage aus welchen Elementen der Festkörper besteht. Lediglich Wasserstoff und Helium können aufgrund geringer Wirkungsquerschnitte im Allgemeinen nicht nachgewiesen werden.

Die Bindungsenergie EB, die aus der kinetischen Energie der Photoelektronen bestimmt werden kann, ist charakteristisch für das Orbital, aus dem das Elektron stammt. Der zur Messung verwendete Analysator wird so eingestellt, dass ihn nur Elektronen einer bestimmten Energie passieren können. Für die XPS-Messung werden die Elektronen, die am Ende des Analysators noch ankommen, über einen Sekundärelektronenvervielfacher detektiert.

So entsteht ein Spektrum, welches meistens in einem Graph durch die Auftragung der Zählrate über der kinetischen Energie der Photoelektronen dargestellt wird.