AES

Auger-Elektronen-Spektroskopie

AES (Die Auger-Elektronen-Spektroskopie) ist eine spektroskopische Methode, die auf dem Auger-Effekt beruht.Erhält ein Elektron aus einer der inneren Schalen (zum Beispiel durch ein Elektron) ausreichend Energie, wird es aus der Atomhülle herausgelöst. Der frei gewordene Platz wird aufgrund seiner niedrigen energetischen Lage durch ein Elektron aus einem höheren Energieniveau wieder belegt. Die dabei frei werdende Energie kann auf ein anderes Elektron übertragen werden, welches das Atom als Auger-Elektron verlässt. Die Energie des emittierten Auger-Elektrons ist von den Energieniveaus des beteiligten Atoms abhängig. Sie ergibt sich aus dem Energieniveau des ursprünglichen unbesetzten Zustands, dem Ausgangsniveau des Elektrons, das den Zustand füllt, sowie dem Ausgangsniveau des Augerelektrons.

Die Auger-Elektronen-Spektroskopie ist eine sehr oberflächenspezifische Methode. Die erfasste Materialschicht umfasst meist nur die obersten zehn Atomlagen. Das Verfahren ist daher sehr effizient zur örtlich hochauflösenden Detektierung.